无码人妻黑人中文字幕,拔擦拔擦x8x8华人免费,无码免费一区二区三区免费播放,成年免费a级毛片

全國(guó)服務(wù)咨詢熱線:

18511111800

NEWS新聞動(dòng)態(tài)
首頁(yè) > 新聞中心 > 淺析Spin Coater的作用與意義所在

淺析Spin Coater的作用與意義所在

更新時(shí)間:2022-07-28       點(diǎn)擊次數(shù):1204
  Spin Coater主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)的微加工、生物、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域或樣件較小無(wú)法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜。通常固定樣品的方式有兩種:真空吸盤固定樣品、帶卡槽的樣品盤固定樣品。用真空吸盤固定樣品時(shí)需要有抽真空的裝置,真空吸附適用于固定表面光滑,平整度好,受真空吸力不變形的基片;帶卡槽的樣品盤可用于質(zhì)軟、形狀不規(guī)則的、尺寸較大的基片的固定。
 
  一個(gè)典型的勻膠過(guò)程包括滴膠,高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個(gè)步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上,高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成薄層,干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動(dòng)態(tài)滴膠。
 

Spin Coater

 


 
  靜態(tài)滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi),減少光刻膠的浪費(fèi),采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤(rùn)濕(鋪展覆蓋)整個(gè)基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤(rùn)濕性不好的情況下,動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用,不會(huì)產(chǎn)生針孔。
 
  Spin Coater滴膠之后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到要求的膜厚,這個(gè)階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小。快速旋轉(zhuǎn)的時(shí)間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時(shí)間往往能決定膠膜的厚度。
華儀行(北京)科技有限公司
地址:北京市豐臺(tái)區(qū)科興路7號(hào)國(guó)際企業(yè)孵化中心301室
郵箱:cif_lab@163.com
傳真:86-010-63752028
關(guān)注我們
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息:
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)
了解更多信息
亚洲av无码精品色午夜果冻不卡| 国产精品久久无码一区二区三区网| 久久精品A一国产成人免费网站| 亚洲精品中文字幕乱码三区| 日韩一区二区三区精品| 国产做a爰片久久毛片a片美国| 国产色婷婷免费视频在线69堂 | 老熟妇高潮一区二区三区| 免费人成视频在线观看| 亚洲 欧美 另类 动漫 在线 | 色婷婷久久综合中文久久蜜桃av| 综合一区无套内射中文字幕| 久久久久久久人妻无码中文字幕爆| 久久亚洲私人国产精品va| 免费120秒体验试看5次| 久久精品国产亚洲av不卡| 国产精品自在线拍国产| 欧美人与善交大片免费看| 亚洲欧美V国产一区二区| 无码人妻精品一区二区三区下载 | 人妻人人澡人人添人人爽| 少妇人妻人伦a片| 亚洲AV影院一区二区三区| 四虎成人精品无码永久在线| 综合欧美五月丁香五月| 国产婷婷一区二区三区| 亚洲乱亚洲乱少妇无码99P| 国产成人精品免高潮在线观看| 精品无码黑人又粗又大又长AV| 暖暖 在线 日本 免费 中文| 亚洲国产高清国产拍精品| 东北妇女精品bbwbbw| 成人亚洲区无码偷拍12p| 久久久噜噜噜久久熟女AA片| 国产精品久久久久这里只有精品| 特级做a爰片毛片免费69| 好爽又高潮了毛片免费下载| 15学生初次破初视频免费| 久久久久国产一区二区三区 | 在线观看免费视频| 色欲久久久天天天综合网精品|